Unter dem Begriff chemische Gasphasenabscheidung ({enS|chemical vapour deposition}, CVD) versteht man eine Gruppe von Beschichtungsverfahren, welche unter anderem bei der Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen und Lichtwellenleitern eingesetzt werden. == Geschichte == Der Begriff chemical vapour deposition wurde im Jahr 1960 von John M. ...